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半導体デバイスの微細化・多様化に伴い、より緻密で正確な制御と多彩な機能が製造装置に求められ、各半導体メーカ独自の生産ノウハウを実現させるための機能開発が必要です。 高機能を実現しつつ、高いスループットと安定性を実現するソフトウェア開発を行っています。
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